基于大机电耦合系数LiNbO3材料，该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO3材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO3的瑞利波激发情况。测试结果表明，采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式，宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性。

利用三维有限元法(3D-FEM)分析了Ni柱型声子晶体对(110)ZnO/41°YX-LiNbO3结构Love波器件声学特性(包括相速度、机电耦合系数和质量灵敏度等)的影响。结果表明, Ni柱的引入对所激发Love波性能的影响较大, Love波1阶模式阈值提前(激发1阶模式Love波所需的导波层厚度减小到0.05), 机电耦合系数提高了约8%。同时, Ni 柱/(110)ZnO/41°YX-LiNbO3结构Love波器件的质量灵敏度也得到改善, 其Love波0阶和1阶模式的质量灵敏度较无Ni柱结构Love波器件分别提高了3倍和4倍。该研究结果为利用声子晶体结构实现高频声表面波器件的研制及其应用领域的拓宽提供了理论依据。

为了制作高灵敏度Love波传感器，分析了Love波在ST-石英和二氧化硅薄膜分层结构中的传播特性，并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算。首先，从声学动力学方程出发，分析求解了该分层结构的波动方程，得到了在该分层结构的色散关系及位移表达式。基于得到的解析表达式分析了波结构，绘制了特性曲线，得到了Love波在该结构中的传播特性。最后，应用MEMS工艺制作了由ST-石英为基底、二氧化硅为波导层的Love波传感器，并通过电化学微电铸的方法进行了实验验证，且对理论灵敏度与实验灵敏度之间不一致的原因进行了分析。测试数据显示，该传感器的质量灵敏度为100 cm2/g，最低检出限为3.65 ng，结果证明了该Love波传感器基本满足高灵敏度生化检测的要求。