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为了提高矩形系数, 该文针对混合结构的声表面波滤波器的设计展开研究。建立仿真模型, 采用纵向耦合结构级联单个谐振器或多个谐振器, 并在36°Y-X LiTaO3和41°Y-X LiNbO3压电材料上研制出两种声表面波滤波器。测试结果表明, 滤波器的矩形系数分别为1.7和2, 测试与仿真结果基本吻合。
矩形系数 混合结构 声表面波 纵向耦合 谐振器 rectangle factor hybrid structure SAW longitudinally coupled resonator
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在传统的抽指加权技术基础上，该文提出了一种自适应抽指加权技术。通过计算确定抽指加权的起始位置和加权数值，能对切趾换能器进行部分指条的抽指加权。研究结果表明，根据该文提出方法研制的一款声表面波滤波器，其频率为61, 60 MHz，-1 dB相对带宽为3, 7％，带外抑制大于45 dB，矩形度为1, 4，器件的综合性能得到改善。
抽指加权 自适应 切趾 加权位置 加权数值 声表面波滤波器 withdrawal weighted adaptive apodization weighted position weighted value SAW filter
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声表面波(SAW)器件光刻过程中，制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致，特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响，分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等参数间的关系。结果表明，通过建立光学模型给出了计算曝光后不同线条宽度变化值的方法，采用程序编程可对掩模版数据中不同尺寸的线条和缝隙宽度进行补偿，实现SAW器件非均匀线条宽度的精确控制。
声表面波(SAW)器件 光刻 衍射效应 线宽 surface acoustic wave(SAW) devices photolithography diffraction effect line width
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基于大机电耦合系数LiNbO3材料，该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO3材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO3的瑞利波激发情况。测试结果表明，采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式，宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性。
Love波 宽带 声表面波(SAW) 瑞利波 横向模式 LiNbO3 LiNbO3 Love wave wideband surface acoustic wave(SAW) Rayleigh wave transversal modes
