压电与声光, 2023, 45 (3): 331, 网络出版: 2023-12-05  

混合结构声表面波滤波器的设计

Design of Surface Filter Based on Hybrid Structure
作者单位
1 北京无线电测量研究所, 北京100854
2 北京航天微电科技有限公司, 北京 100854
摘要
为了提高矩形系数, 该文针对混合结构的声表面波滤波器的设计展开研究。建立仿真模型, 采用纵向耦合结构级联单个谐振器或多个谐振器, 并在36°Y-X LiTaO3和41°Y-X LiNbO3压电材料上研制出两种声表面波滤波器。测试结果表明, 滤波器的矩形系数分别为1.7和2, 测试与仿真结果基本吻合。
Abstract
In order to improve the rectangle factor, the paper described the design of a hybrid structure SAW filter. By established simulate model, a hybrid structure of longitudinally coupled resonator filter cascading single resonator or multiple resonators are used, two kinds of SAW filters have been developed on 36°Y-X LiTaO3 and 41°Y-X LiNbO3 piezoelectric materials. The rectangle factor of the filters are 1.7 and 2, the test results are consistent with the simulation results.
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