1 北京无线电测量研究所, 北京100854
2 北京航天微电科技有限公司, 北京 100854
为了提高矩形系数, 该文针对混合结构的声表面波滤波器的设计展开研究。建立仿真模型, 采用纵向耦合结构级联单个谐振器或多个谐振器, 并在36°Y-X LiTaO3和41°Y-X LiNbO3压电材料上研制出两种声表面波滤波器。测试结果表明, 滤波器的矩形系数分别为1.7和2, 测试与仿真结果基本吻合。
矩形系数 混合结构 声表面波 纵向耦合 谐振器 rectangle factor hybrid structure SAW longitudinally coupled resonator
