1 北京无线电测量研究所,北京 100854
2 北京航天微电科技有限公司,北京 100854
基于大机电耦合系数LiNbO3材料，该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO3材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO3的瑞利波激发情况。测试结果表明，采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式，宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性。
Love波 宽带 声表面波(SAW) 瑞利波 横向模式 LiNbO3 LiNbO3 Love wave wideband surface acoustic wave(SAW) Rayleigh wave transversal modes
