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仪器, 测量, 度量学
F-P标准具多光束干涉成像实现微小角度自校准测量
周世南
沈小燕
*
李东升
吴晨光
作者单位
摘要
中国计量大学 计量测试工程学院,杭州 310018
利用干涉级次小数部分计算得到成像物镜相对焦距值,结合微小角度引起的相对位移值,实现微小角度测量的自校准。仿真计算了小数重合法的算法误差及温湿度误差,并实现了F-P间隔计算结果的修正,设计了可自校准的微小角度测量实验装置,通过测量实验得到了间隔修正前后成像物镜焦距值及微小角度测量结果。实验结果表明:在当前实验条件下,经修正后的焦距测量相对扩展不确定度从0.014减小到0.007,600″测量范围内的角度测量不确定度从0.132″减小到0.084″,微小角度测量的准确度得到有效提升。
微小角度测量
自校准
F-P标准具
小数重合法
不确定度
Micro-angle measurement
Self-calibration
F-P etalon
Exact fraction method
Uncertainty
PDF全文
Full Text
光子学报
2022, 51(4): 0412007
仪器,测量,度量学
基于法布里-珀罗标准具的微小角度测量及不确定度评定方法
下载:640次
刘源
1
沈小燕
1
周世南
1
郭旭波
2
[ ... ]
蓝旭辉
1
作者单位
摘要
1
中国计量大学 计量测试工程学院, 杭州3008
2
清华大学 物理系, 北京100084
研究了一种基于法布里-珀罗标准具多光束干涉成像的微小角度测量方法。通过计算同心干涉圆环圆心位置变化量(圆心位移量)和成像物镜焦距,实现反射镜微小偏转角度的测量。采用相对测量原理,构建了基于圆心位移量不确定度分量和成像物镜焦距不确定度分量的微小角度测量不确定度评定模型。选取2 mm间隔的F-P标准具进行微小角度的测量实验研究,并进行了数据处理。实验结果表明,在600″微小角度测量范围内,测量不确定度不大于0.132″;在40″微小角度测量范围内,测量不确定度不大于0.045″。该方法可为具有自校准特性的、更高准确度的微小角度测量的实现提供参考。
微小角度测量
法布里-珀罗标准具
高准确度
不确定度评定
测量方法
Micro-angle measurement
Fabry-Perot etalon
High accuracy
Uncertainty analysis
Measurement method
PDF全文
Full Text
光子学报
2021, 50(7): 161
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