1 中国科学院 声学研究所，北京 100190
2 中国科学院大学，北京 100049
以聚苯胺作为敏感材料，实验制备了高灵敏快速响应的声表面波(SAW)氨气传感器器件，结合鉴相式传感电路，构建了传感系统。聚苯胺对氨气的选择性吸附所产生的质量负载及声电耦合效应引起声传播速度的变化，进而以鉴相器输出的电压信号来表征待测氨气体积浓度。实验结果表明，在室温工作条件下，传感器显示出高灵敏度(0, 11 mV/10-6 mV)、低检测下限(0, 5×10-6)及快速响应时间(T90<20 s)。
聚苯胺 声表面波(SAW) 氨气传感器 polyaniline surface acoustic wave(SAW) ammonia gas sensor
