强激光与粒子束
2023, 35(12): 121002
在光学加工领域,采用功率谱密度(power spectral density, PSD)对误差频谱方面信息进行表征,但是功率谱密度是表面误差统计信息,不如峰谷值 (peak-valley,PV)和均方根值(root mean square,RMS)直观。为了分析功率谱密度与工艺参数之间的关系,该文从PSD定义出发,分析了随机面形轮廓不同参数对光学PSD的影响规律,总结了PSD控制的要点,在平面玻璃上对数控抛光典型路径下加工的PSD曲线进行分析。分析结果表明:PSD与随机轮廓幅值、频率分布有关,相位对它几乎无影响;在RMS接近情况下,PSD线性拟合斜率和RMS Slope随随机轮廓的自相关长度增加而下降;短程加工路径相较于长程有序路径能够有效抑制PSD曲线峰值,使得光学元件符合频谱抑制要求。
衍射光学元件较球面、非球面光学元件在校正色差方面具备较大优势,尤其是在红外光学领域,应用衍射光学元件可进一步增加光学系统的设计自由度。随着红外光学市场的进一步增大,常规的衍射光学金刚石车削技术难以满足大规模需求,精密模压技术成为解决上述问题的关键技术。模具设计是实现精密模压的重点,为了缩减模具设计周期,该文采用有限元仿真方法对模具进行预先设计及补偿,并试加工。采用单站式精密模压机对设计的模具进行了精密模压试验。模压试验结果表明:采用合理的工艺参数,能够实现衍射光学元件面形精度PV达到0.56 μm,位置误差<0.011 mm,环带高度误差<0.12 μm,验证了仿真预先补偿在衍射光学模具设计中的有效性。
为解决光电跟踪仪跟踪精度测量过程中光束大范围指向的模拟问题,设计了一种大口径、高精度二维快速控制反射镜(fast steering mirror, FSM)。采用微晶材料设计了长、短轴分别为230 mm和160 mm的椭圆形平面反射镜,面形精度优于λ/30。采用音圈电机驱动,通过柔性支撑铰链设计及DSP嵌入式控制系统,运动行程达到±30 mrad,运动控制精度达到5 μrad,运动控制线性度优于±0.20%,角分辨率优于1 μrad。通过软件控制,实现对入射光束圆形轨迹运动、直线轨迹运动、随机运动等形式的运动模拟。最后,对设计指标进行实际测试,可以满足跟踪精度光束动态模拟的测试需求。
西安理工大学材料科学与工程学院,陕西 西安 710048
针对铜/不锈钢异种材料激光焊接过程中的物理性能差异较大、冶金相容性较差等问题,利用光学显微镜、扫描电子显微镜、能谱仪,结合拉伸、硬度等试验研究了不同光束偏移量对焊接接头组织及性能的影响。结果表明:焊缝在金属蒸发作用力及马兰戈尼对流效应的共同影响下呈半沙漏状形貌;光束偏向铜侧时,焊缝由于液相分离导致富铁相弥散分布,造成焊缝成分和硬度分布不均匀,熔覆金属中铜的含量较多使得接头强度较低;光束偏向钢侧时焊缝组织为奥氏体和富铜相,焊接接头的强度较高,抗拉强度最高可达240 MPa,与铜母材相当;当光束偏移量为-0.4 mm时,可得到综合性能最优的焊接接头。
激光技术 激光焊接 铜/钢复合结构 光束偏移 微观组织 力学性能 激光与光电子学进展
2022, 59(13): 1316001
1 青岛理工大学激光绿色智能制造技术实验室,山东 青岛 266520
2 山东省激光绿色高效智能制造工程技术研究中心,山东 青岛 266520
激光加工凭借加工精度高、效率高、无污染、应用材料范围广的独特优势,成为加工微孔的首选,尤其是在高质量微孔的加工中有着不可替代的作用。介绍了激光加工微孔的优势及研究意义,总结了激光加工微孔的质量特征(如深径比、锥度、圆度、重铸层等),综述了激光加工微孔质量的研究现状,讨论了打孔方式、激光工艺参数(如脉冲宽度、波长、重复频率等)和加工环境(如真空、气体、液体等)三个因素对激光加工微孔质量的影响及其造成影响的原因,并对激光加工微孔的发展方向和今后研究的重点进行了总结。
激光技术 激光加工 微孔质量 工艺参数 打孔方式 加工环境 激光与光电子学进展
2021, 58(19): 1900002
衍射光学元件以其优异的光学性能,能够调制出理想的波面,较球面、非球面光学系统在校正色差方面具有较大优势。衍射光学元件的加工难点在于其加工精度不仅要求非球面基底的面形满足精度要求,还需要衍射结构的相位突变点及高度满足要求。由于其面形非连续性,存在相位突变点,传统的检测方式难于满足要求。对轮廓仪检测误差来源进行分析,结合检测数据分析加工误差数据,在此基础上进行数据处理,并将该方法获得的误差数据应用于零件加工,实现口径120 mm衍射面加工面形误差为0.539 μm。
衍射光学元件 数据处理 误差分析 面形检测 diffractive optical element (DOE) data processing error analysis profile detection