1 上海交通大学 仪器科学与工程系，上海200240
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
3 北京遥测技术研究所,北京 100076
声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多，硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底，但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器，采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底，并提出了沟槽结构叉指电极的制造工艺，对沟槽结构的形貌进行了表征。通过提高沉积温度改善Pt电极质量，最终制备的波长8 μm、沟槽电极厚240 nm的谐振器在1 000 ℃下可稳定工作。
声表面波(SAW) 硅酸镓镧(LGS) 沟槽电极 高温 Pt电极 surface acoustic wave(SAW) LGS grooved electrodes high temperature Pt electrode
