1 模拟集成电路重点实验室, 重庆400060
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆400060
针对任意复杂结构声表面波(SAW)器件精确快速分析及其内部多物理场耦合效应的精确表征问题，该文在充分考虑SAW器件实际存在的各种影响因素下，采用有限元分层级联算法推导出有限长结构SAW器件的有限元数学模型。基于全波仿真技术，考虑管座及键合线等封装模型电磁效应，对漏波型42°Y-X LiTaO3温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件进行计算，通过与实验结果对比,验证了计算模型的精确性，为高性能SAW器件的精确快速设计提供了支撑。
SAW器件 精确表征 分层级联技术(HCT) 全波仿真 surface acoustic wave(SAW) devices accurate characterization hierarchical cascading technique(HCT) full-wave simulation
1 模拟集成电路重点实验室，重庆 400060
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所，重庆 400060
Cu/15°YX-LiNbO3声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元，其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能，将引起带内波纹，增大器件插损，从而降低系统信噪比，引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-LiNbO3 SAW谐振器的横向模式，利用有限元仿真优化了指条末端尺寸。仿真结果表明，慢速区域尺寸占空比为0, 692，长度约为0, 65λ(λ为波长)时，主模附近的横向模得到完全抑制，并通过实验验证了其有效性。这为Piston技术应用于Cu/15°YX-LiNbO3宽带SAW滤波器的横向模抑制提供了指导。
声表面波(SAW)谐振器 宽带声表面波(SAW)滤波器 横向模式 Piston技术 surface acoustic wave(SAW) resonator wide band SAW filter transverse modes Piston technique
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
该文研究了基于层次级联模型的耦合模(COM)参数提取方法。通过仿真42°Y-X LiTaO3衬底的有限长声表面波(SAW)单端谐振器，提取COM参数及建立COM参数数据库，研制了一款1 200 MHz的三换能器混合结构的SAW滤波器。结果表明，实际制作器件响应和仿真幅频响应符合性好，验证了该文提取COM参数方法的可行性，可用于指导SAW滤波器设计。
声表面波滤波器 层次级联 耦合模(COM)参数 SAW filter hierarchical cascading COM parameter
1 上海交通大学 仪器科学与工程系，上海200240
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
3 北京遥测技术研究所,北京 100076
声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多，硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底，但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器，采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底，并提出了沟槽结构叉指电极的制造工艺，对沟槽结构的形貌进行了表征。通过提高沉积温度改善Pt电极质量，最终制备的波长8 μm、沟槽电极厚240 nm的谐振器在1 000 ℃下可稳定工作。
声表面波(SAW) 硅酸镓镧(LGS) 沟槽电极 高温 Pt电极 surface acoustic wave(SAW) LGS grooved electrodes high temperature Pt electrode
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
该文介绍了一种双声通道纵向耦合结构的高频高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。利用有限元仿真研究了AT石英材料上高声速的声表面横波与浅体声波的激励情况, 并进行了浅体声波抑制研究。通过调节叉指换能器金属化比, 大幅降低了浅体声波对滤波器阻带抑制的影响, 并制作出中心频率为1 220 MHz, 插入损耗为5 dB、1 dB带宽700 kHz、阻带抑制50 dB的低损耗高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。
声表面波滤波器 极窄带 声表面横波 SAW filter extremely narrow-band surface transverse wave
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
为了模拟高频低损耗声表面波（SAW）滤波器的设计, 该文采用二端口阻抗元2T结构建立了包含外壳及点焊线电磁响应的数学模型, 并利用回路电流分析法, 推导出该模型下的Y、S参数。且在该模型基础上用Matlab编写了程序, 为某电台设计了一款频率为1 561 MHz,-1 dB带宽大于30 MHz, 插入损耗小于2 dB, 带外抑制大于40 dB的SAW滤波器,理论模拟与实测吻合较好, 表明了此模型在设计高频低损耗SAW滤波器的可行性。
声表面波滤波器 阻抗元结构 二端口网络 回路电流 电磁仿真 SAW filter impedance element structure two-port network loop current electromagnetic simulation
1 中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
2 装备发展部驻重庆地区军事代表室, 重庆 400060
该文采用周期调制及双通道设计的方法实现了一种低损耗高抑制声表面波滤波器的研制。该滤波器以64°Y-X LiNbO3为基片材料, 其中心频率约475 MHz, 插入损耗小于2 dB, 阻带抑制优于60 dB及1 dB相对带宽约5%。研制的滤波器具有低插损及高阻带抑制的特性, 结果表明该设计方法具有很好的实用性。
声表面波滤波器 周期调制 三换能器 surface acoustic wave filter pitch-modulated three-IDT
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底, 温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜, 利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试。测试结果表明, 该温补型声表面波滤波器的中心频率约1 360 MHz, 在-55~85 ℃内频率漂移仅约390 kHz, 频率温度系数约-2×10-6/℃, 插入损耗约1.3 dB。
声表面波滤波器 温补型声表面波 频率温度系数 SAW filter TC-SAW temperature coeffcient of frequency(TCF)
合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230009
量子逻辑电路是经典可逆计算和量子计算的交叉领域,对其综合方法的研究具有重要意义。 提出了一个基于矩阵初等变换的全新的综合方法, Toffoli门集被选作基本门库,其中每个逻辑门的矩 阵都可以分解为初等变换的乘积(称作一个初等变换路径), 结合一些启发式规则,将得到的初等变换路 径变成 Toffoli 门序列的形式,也即逻辑电路形式。给出了一个三阶逻辑电路的例子,分析了该新方法的性能。
量子信息 量子逻辑电路综合 矩阵初等变换 量子逻辑门 quantum information quantum Boolean circuit synthesis matrix elementary transformation quantum logic gates
