1 模拟集成电路重点实验室, 重庆400060
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆400060
针对任意复杂结构声表面波(SAW)器件精确快速分析及其内部多物理场耦合效应的精确表征问题，该文在充分考虑SAW器件实际存在的各种影响因素下，采用有限元分层级联算法推导出有限长结构SAW器件的有限元数学模型。基于全波仿真技术，考虑管座及键合线等封装模型电磁效应，对漏波型42°Y-X LiTaO3温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件进行计算，通过与实验结果对比,验证了计算模型的精确性，为高性能SAW器件的精确快速设计提供了支撑。
SAW器件 精确表征 分层级联技术(HCT) 全波仿真 surface acoustic wave(SAW) devices accurate characterization hierarchical cascading technique(HCT) full-wave simulation
