中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆 400060
基于声表面波(SAW)滤波器技术，采用两级滤波器级联、滤波器环绕开关、多通道抗干扰布局等方法，实现了一种小型化、高阻带抑制组件的研制。实验结果表明，研制的多通道滤波组件尺寸为18 mm×15 mm×5 mm，其-3 dB带宽大于48 MHz，插入损耗小于7 dB，带内幅度波动小于1.5 dB，近端阻带抑制大于70 dBc，具有很好的实用性。
声表面波滤波器 级联 小型化 阻带抑制 surface acoustic wave filter cascade miniaturization stop-band suppression
1 北京中科飞鸿科技股份有限公司，北京100095
2 中国科学院声学研究所，北京100190
使用结构为42°Y-X LiTaO3(600 nm)/SiO2(500 nm)/Si的SOI衬底，通过抑制横向模式等优化设计，研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试，谐振器的谐振频率为1.5 GHz，品质因数(Q)值高达4 000；滤波器的中心频率为1 370 MHz，插入损耗为-1.2 dB，1 dB带宽为74 MHz，相对带宽达到5.4%，阻带抑制大于40 dB，且温度系数在-55~+85 ℃时优于-9×10-6/℃。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点，其性能指标优异，具有很好的实用性。
SOI衬底 大带宽 横向模式 谐振器 声表面波滤波器 SOI substrate wide bandwidth transverse mode resonator surface acoustic wave filter
1 中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
2 装备发展部驻重庆地区军事代表室, 重庆 400060
该文采用周期调制及双通道设计的方法实现了一种低损耗高抑制声表面波滤波器的研制。该滤波器以64°Y-X LiNbO3为基片材料, 其中心频率约475 MHz, 插入损耗小于2 dB, 阻带抑制优于60 dB及1 dB相对带宽约5%。研制的滤波器具有低插损及高阻带抑制的特性, 结果表明该设计方法具有很好的实用性。
声表面波滤波器 周期调制 三换能器 surface acoustic wave filter pitch-modulated three-IDT
