中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
该文研究了基于层次级联模型的耦合模(COM)参数提取方法。通过仿真42°Y-X LiTaO3衬底的有限长声表面波(SAW)单端谐振器，提取COM参数及建立COM参数数据库，研制了一款1 200 MHz的三换能器混合结构的SAW滤波器。结果表明，实际制作器件响应和仿真幅频响应符合性好，验证了该文提取COM参数方法的可行性，可用于指导SAW滤波器设计。
声表面波滤波器 层次级联 耦合模(COM)参数 SAW filter hierarchical cascading COM parameter
