利用辐射测温系统进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响,使得实验测得的温度分布远远低于实际值,为了提高温度测量的准确性,提出了一种估计真实温度分布的新方法.这种方法主要包括:将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器、减小光接收面面积、将原有的透镜更改为红外消像差透镜,最后利用图像复原技术中的-Lucy-Richardson算法求出最佳真实温度分布估计.其中前4个步骤有效的提高了测温分布细节,实验测得微小面元温度分布半宽值仅21μm,远远小于之前测得的半宽值;Lucy-Richardson算法则将温度分布中被点扩展函数卷积掉的高温部分复原回来,实验测得微小面元温度分布在复原后温度最高值高出复原前最高值近100℃.实验证明这种方法有效的提高了测温准确性.
辐射测温 温度分布 单模尾纤式探测器 Lucy-Richardson算法 激光微加工
介绍了杂质Zn在InP中的两种扩散机制,间隙-替代机制和Kick-out机制。InP为n型时,扩散机制为间隙-替代式;InP为p型时,扩散机制为Kick-out式。重点介绍了三种不同模型,解释Zn在InP中通过间隙－替代机制进行扩散时,空穴浓度与Zn浓度不同的原因,并评价了三种模型。
间隙-替代机制 Kick-out机制
电子科技大学光电信息学院,四川 成都 610054
将红外辐射测温系统用于半导体基片表面温度测量时,系统的调焦状况将影响测温结果的准确性。对这种影响进行了理论计算。结果表明,当被测高温区面积较大时,可以允许较大的调焦范围。但在激光诱导扩散等激光微细加工工艺中,曝光区直径仅数十微米量级,对系统的调焦提出了较高的要求。计算了在可见光波段和近红外波段两种情况下系统成像物镜的焦距。当成像物镜在波长为0.546 μm时的焦距为30 mm,并固定像距为196 mm时,得到在波长为1.335 μm时的物距比波长为0.546 μm时大1.33 mm。利用这个结果,结合在不同物距时系统对被测高温区进行扫描得到的温度分布,提出了调焦的方法。利用该方法,系统物距可调节到最佳物距为中心±0.05 mm的范围内,满足了微小面元温度测量的要求。
激光技术 半导体 辐射测温 调焦
1 电子科技大学
2 光电信息学院,四川绵阳610054
采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p 区掺杂.制作出平面型顶部入射的InGaAs/InP PIN光探测器, 响应度为0.21A/W.分析了激光诱导扩散中影响探测器性能的因素,因此提出了扩散温度自动控制、扩散区温度分布均匀化及激光焦斑与扩散区精确对准等相应的改进方法.
激光微细加工 单片集成光接收机 PIN光探测器 激光诱导扩散 Laser assisted microprocessing Monolithically integrated optical receiver PIN photodiodes Laser induced diffusion
1 电子科技大学,四川,成都,610054
2 中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏,南京,210016
异质结PIN光探测器可分为单异质结光探测器(SHPD)和双异质结光探测器(DHPD),二者在量子效率、频率响应和暗电流方面存在差异.当SHPD光敏面半径为10(m且P区厚度与电子扩散长度之比小于0.2时,其量子效率减小的幅度小于0.32%,带宽增加约0～4%;对于由体效应决定的暗电流,SHPD略优.由此得到当光敏面积较小和P区厚度较薄时,SHPD与DHPD性能相当的结论,为高性能宽带光纤网高速光探测器的设计提供了依据.
PIN光探测器 量子效率 频率响应 暗电流
利用XJX-2型红宝石激光显微仪对模式组织和大豆胞株,小家鼠及免2-细胞期胚胎等动植物细胞进行了激光显微照射的生物学试验.在利用生物细胞天然发色团或进行活体染色的基础上,对供试的几种动植物细胞产生了有效的选择性损伤.
