电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054
近年来, 航空航天领域的飞速发展要求振动测量技术能耐受更高温度, 因此高温压电加速度传感器备受关注。通过优化压电晶体切型和设计质量块结构, 该文设计并制备了基于硅酸镓钽钙(CTGS)压电单晶材料的压电加速度传感器。实验结果表明, 该传感器的谐振频率约为2.2 kHz。在振动频率为100 Hz~1.1 kHz下, 常温时传感器的电荷灵敏度基本稳定, 平均值为2.44 pC/g(g=9.8 m/s2)。在常温~600 ℃内, 传感器的电荷灵敏度基本保持不变, 1.1 kHz振动频率下传感器的电荷灵敏度平均值为2.56 pC/g。该传感器能在600 ℃高温下稳定工作。
硅酸镓钽钙(CTGS)晶体 压电效应 加速度传感器 高温 CTGS crystals piezoelectric effect acceleration sensor high temperature
