1 石河子大学机械电气工程学院，新疆 石河子 832003
2 兵团工业技术研究院，新疆 石河子 832003
飞秒激光辅助化学刻蚀加工技术在高质量、高深径比、高可控性的微孔加工方面独具优势，为微孔的制备提供了新的途径和方法。在微全分析系统、光纤中的三维光流控系统、谐振器制造中具有很大的应用潜力。本文综述了近年来飞秒激光辅助化学刻蚀加工透明介质材料的研究进展，包括飞秒激光改性区对刻蚀速率影响、强酸强碱化学溶液对刻蚀效果的影响、化学刻蚀步骤工艺的优化、飞秒激光辅助化学刻蚀加工方法的应用等，总结了飞秒激光辅助化学刻蚀微通道、结构加工机理以及工艺等方面面临的挑战，并对今后的研究重点进行了展望。
激光光学 飞秒激光 化学刻蚀 透明材料 激光与光电子学进展
2022, 59(19): 1900009
