1 华东师范大学 物理与电子科学学院，材料科学系，纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心，上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台，上海 200241
2 山西大学 极端光学协同创新中心，山西 太原 030006
3 复旦大学 上海智能电子与系统研究院，上海 200433
在不同氧分压下，用脉冲激光沉积法在c-蓝宝石衬底上制备了高质量β-Ga2O3-δ薄膜。通过X-射线衍射、远红外反射光谱、X-射线光电子能谱和紫外-可见-近红外透射光谱系统地研究了β-Ga2O3-δ薄膜的晶格结构、化学计量比和光学性质。X-射线衍射分析表明，所有沉积的薄膜以（-201）晶向方向生长。透射光谱显示薄膜在255 nm以上的紫外-可见-近红外波段具有80%以上的高透明度，同时在255 nm附近有一个陡峭的吸收边。此外，利用Tauc-Lorentz（TL）色散函数模型和Tauc公式，我们提取了β-Ga2O3-δ薄膜的光学常数和光学直接带隙。更进一步，我们通过理论计算解释了氧气分压对β-Ga2O3-δ薄膜光学性质的影响。
氧化镓 脉冲激光沉积 氧分压 光学性质 β-Ga2O3 pulsed laser deposition oxygen partial pressure optical properties
1 华东师范大学 物理与电子科学学院，材料科学系，纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心，上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台，上海 200241
2 复旦大学 上海智能电子与系统研究院，上海 200433
报导了在c-Al2O3衬底上用脉冲激光沉积法制备MoS2薄膜，并测试了其不同温度下的光响应。通过拉曼散射光谱和X射线衍射光谱证明了所制备的二硫化钼为纯2H相。通过X光电子能谱证明了所制备的二硫化钼硫钼原子比为1.92：1，在Mo元素的3d核心能级谱中存在红移和蓝移，说明薄膜中存在氧化和硫缺陷。此外，通过拉曼和光致发光分布图，证明了薄膜具有良好的均一性。在不同层数的二硫化钼样品中，单层二硫化钼样品具有最强的光响应，达到3 mAW-1。单层二硫化钼的变温光响应实验表明，在室温附近，温度升高会提高二硫化钼的光响应强度和响应时间。
二硫化钼 脉冲激光沉积 光致发光 光响应 molybdenum disulfide pulsed laser deposition photoluminescence photoresponse
