1 南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院，江苏 南京 210023
2 南京邮电大学射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室，江苏 南京 210023
光热微执行器广泛应用于光学微机电系统和微机器人。利用功能染料的窄带吸波特性制作可控制性强、位移大的波导式激发光热U型微执行器，并仿真了该执行器的温度和位移变化。制作了单臂长度和半径分别为5.8 mm和200 μm的窄波段响应光热微执行器。实验结果表明，本方案制作的执行器具有位移响应大、能量利用率高、生产成本低以及集成度高的优势。在功率为100 mW激光的驱动下，该执行器自由端能在紫光（408 nm）或红光（638 nm）波段实现100~160 μm的位移，远大于非对应波段光束产生的位移（20 μm）。
激光光学 光热微执行器 窄带吸收特性 悬浮打印 水凝胶 激光与光电子学进展
2023, 60(1): 0114005
