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激光器与激光光学
不同工艺参数下超高功率激光切割304不锈钢厚板断面质量研究
石新升
1,2,3
张毫杰
1,2,3
葛鸿浩
1,2,3
蔡亮
4
[ ... ]
姚建华
1,2,3,*
作者单位
摘要
1
浙江工业大学激光先进制造研究院,浙江 杭州 310014
2
浙江工业大学机械工程学院,浙江 杭州 310014
3
高端激光制造装备省部共建协同创新中心,浙江 杭州 310014
4
奔腾激光(浙江)股份有限公司,浙江 温州 325000
为探究厚板激光切割过程中工艺参数对切割断面质量的影响,使用奔腾激光自主研发的30000 W超高功率光纤激光切割机对40 mm厚304不锈钢进行四因素、五水平正交试验,分析残差结果,得到各工艺参数对切割断面指标(上下切缝宽度、垂直度以及上部、中部、下部板材粗糙度值)的影响规律。结果表明:上下表面切缝宽度影响主次为离焦量、辅助气压、激光功率、切割速度;垂直度影响主次为切割速度、离焦量、激光功率、辅助气压;粗糙度影响主次为激光功率、离焦量、辅助气压、切割速度。残差分析结果表明,超高功率激光切割40 mm厚304不锈钢优化工艺参数如下:激光功率为20000 W、切割速度为200 mm/min、辅助气压为18 bar、离焦量为+11 mm。
超高功率
厚板
正交试验
工艺参数
断面质量
ultra-high power
thick plate
orthogonal test
process parameters
section quality
PDF全文
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激光与光电子学进展
2023, 60(23): 2314007
激光器与激光光学
皮秒激光铝合金黑色标刻实验与理论建模分析
刘福康
李建美
*
作者单位
摘要
山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室,山东 济南 250061
使用皮秒激光时,通过改变激光标刻参数,可以在铝合金表面得到不同对比度的黑色图案。通过激光扫描显微镜对实验标刻样本表面进行测量,并通过电磁波理论建模对皮秒激光打黑机理进行分析。研究发现,激光标刻样本宏观基体表面存在微纳尺度的最大高度值不同的密集峰谷形貌。样本表面微纳峰谷形貌的最大高度值越大,表面反射率越低,从而形成对比度较大的黑色图案。通过样本灰度值得到的对比度与理论建模得到的对比度几乎一致,这证实上述机理是激光打黑铝合金的主要原因。
皮秒激光标刻
黑色图案
反射率
对比度
电磁波
picosecond laser marking
black pattern
reflectivity
contrast
electromagnetic wave
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激光与光电子学进展
2023, 60(23): 2314005
激光器与激光光学
100 kHz重复频率锡液滴靶研究
孙海轶
1
王关德
1
李学红
1
彭凯伦
1
[ ... ]
林楠
1,4
作者单位
摘要
1
中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术重点实验室,上海 201800
2
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海 201800
3
中国科学院大学,北京 100049
4
中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学工程部(筹),上海 201800
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。现阶段研制的锡液滴发生器,在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径约为40 μm,间距约为230 μm,工作时长接近5 h。锡液滴在10 s短时间内,竖直和水平方向的位置不稳定性分别约为2 μm和1 μm。未来锡液滴的可用性性能(如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性)还需进一步提升。
极紫外
光刻光源
液滴发生器
锡液滴
extreme ultraviolet
lithography source
droplet generator
tin droplets
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激光与光电子学进展
2023, 60(23): 2314001
激光器与激光光学
基于ResUnet和TFGAN网络的激光麦克风语音增强方法
代欣学
1,2
范松涛
1
周燕
1,2
作者单位
摘要
1
中国科学院半导体研究所 光电系统实验室,北京 100083
2
中国科学院大学,北京 100049
激光麦克风是一种利用光学多普勒效应获取远场语音信息的技术,其语音质量受到探测系统自身特性、光探测路径以及目标物等多个方面的影响。为了从远距离声场下的目标物获取更高质量的语音信息,文中通过单频声激励实验获得了4种典型目标物(A4纸片、A4纸盒、瓦楞盒、塑料瓶)的声致振动频率响应,发现了其在频率上的非均匀性。在此基础上,提出了一种基于ResUnet和TFGAN网络的激光语音增强方法,其通过ResUnet网络预测去噪梅尔谱图,并利用TFGAN网络由预测的梅尔谱图恢复出激光语音的时域波形。然后,利用实验室自制的激光麦克风在4种目标物上进行了远距离语音采集实验,采用文中提出的方法对采集到的激光麦克风语音进行了处理,并与非线性函数谐波重构法、DNN+谐波重构法进行了比较。最后利用客观语音质量评估(PESQ)和时域分段信噪比(SNRseg)对处理后的激光语音进行了量化评估。实验结果表明,在4种目标物上采集到的激光语音,经过非线性函数谐波重构方法和DNN+谐波重构方法处理后,语音质量均无明显提升,其相应的PESQ和SNRseg分值无明显提高。而经过文中所提的ResUnet+TFGAN网络方法处理后,激光语音取得了更高的PESQ和SNRseg分值,语音质量明显提升。因此,文中提出的方法在激光麦克风应用中具有更好的激光语音增强效果。此外,由实验结果可知,此方法在频率响应一致性较差的目标物上,仍然可以较好地重建频谱,恢复出高质量的语音信息。
外差干涉
语音增强
神经网络
声致振动
heterodyne interference
speech enhancement
neural network
acoustic vibration
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红外与激光工程
2023, 52(10): 20230051
激光器与激光光学
铁共振荧光多普勒激光雷达光源的频率稳定性研究
李乘
1,2
吴德成
1,3
刘爽
4
邓迁
1,3
[ ... ]
王英俭
1,3
作者单位
摘要
1
中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031
2
中国科学技术大学,安徽 合肥 230026
3
先进激光技术安徽省实验室,安徽 合肥 230026
4
华北光电技术研究所,北京 100015
种子注入的372 nm稳频Nd: YAG激光器作为铁共振荧光多普勒激光雷达的激光光源,其性能将直接影响大气温度和径向风速的测量精度,属于研制难度较大但极其重要的关键技术。文中对激光光源的频率稳定性进行了仿真分析和实验研究。利用蒙特卡洛方法,仿真了振荡级输出1116 nm脉冲光的频率稳定性(均方根)应小于1 MHz;对改进型Ramp-Fire种子注入技术进行了详细介绍,并在振荡级光路中采用了该技术;通过激光拍频实验,测量得出1116 nm脉冲光在10 min内的频率稳定性的均方根为543.24 kHz,其结果满足指标要求,可将频率抖动和频率漂移引起的系统误差减少至0.51 K和0.61 m/s。文中所做工作为铁共振荧光多普勒激光雷达实现大气温度和径向风速的高精度测量提供了必要保障。
铁共振荧光多普勒激光雷达
频率稳定性
蒙特卡洛方法
种子注入技术
激光拍频
iron resonant fluorescence Doppler lidar
frequency stability
Monte Carlo method
injection-seeded technique
beat frequency
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红外与激光工程
2023, 52(10): 20230025
激光器与激光光学
紧凑型双路TEA CO2激光器谐振腔热稳定性及补偿
朱子任
1,2
白进周
1,2
付景静
1
苏新军
3
[ ... ]
谭荣清
1,2
作者单位
摘要
1
中国科学院空天信息创新研究院,北京 100094
2
中国科学院大学,北京 100049
3
粒子输运与富集技术全国重点实验室,天津 300180
通过实验和仿真的方法,研究了多点分布的内部热源加热作用对紧凑型双路TEA CO
2
激光器谐振腔热稳定性的影响。采用直流风扇热交换抑制了高压电源的局部加热效应,通过调整热交换的效率,可在13~22 ℃环境温度范围内,使前后谐振腔镜受到的局部加热形变作用和环境温度引起的热胀冷缩作用基本抵消。为实现更宽温度范围的谐振腔稳定性,在有效热交换措施的基础上,根据模拟预测的形变规律,提出了谐振腔变形的角度补偿方法。使用传感器获得环境温度与设定初始环境温度的偏差,通过调整伺服电机步数实现对方位角的补偿,补偿值约0.28 step/℃,通过PZT促动器调整悬臂调谐结构末端位移,实现对俯仰角的补偿,补偿值约0.79 μm/℃。
TEA CO
2
激光器
局部加热效应
腔体形变
角度补偿
TEA CO
2
laser
local heat effect
cavity deformation
angular compensation
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红外与激光工程
2023, 52(10): 20230020
激光器与激光光学
端面抽运Nd:YAG/Cr4+:YAG/KTA被动调Q级联拉曼激光器
齐子钦
1
毛文杰
1
王鸿雁
2
朱小龙
1
[ ... ]
朱海永
1,*
作者单位
摘要
1
温州大学 电气与电子工程学院 温州市微纳光电器件重点实验室,浙江 温州 325035
2
青岛海泰光电技术有限公司,山东 青岛 266100
报道了基于KTA晶体671 cm
−1
和234 cm
−1
频移的LD端面抽运被动调Q级联拉曼激光器。采用Nd:YAG/Cr
4+
:YAG复合晶体产生被动调Q的脉冲基频激光来驱动KTA晶体,研究了不同入射抽运功率下级联拉曼激光的输出功率、光谱和脉冲特性。随着抽运功率的增加,输出激光波长从以671 cm
−1
和234 cm
−1
频移级联拉曼的1178 nm单波长过渡到与1212 nm同时输出的双波长。在10.05 W的入射抽运功率下,获得了280 mW平均输出功率,6.2%转化效率的双波长激光。对应的脉冲宽度和重复频率分别为1.2 ns和10.3 kHz,单脉冲能量和峰值功率分别为27.2 μJ和22.7 kW。结果表明:基于KTA两个相当增益强度的频移,结合腔镜镀膜控制可以获得丰富的斯托克斯激光波长。
拉曼激光
KTA晶体
被动调Q
YAG晶体
Raman laser
KTA crystal
passive Q-switch
YAG crystal
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红外与激光工程
2023, 52(10): 20230079
激光器与激光光学
表征稳频半导体激光器频率特性的方法
李珊珊
1
杨介伟
1
杨天新
1
王肇颖
1
张恒康
2
作者单位
摘要
1
天津大学 精密仪器与光电子工程学院 光电信息技术教育部重点实验室,天津 300072
2
北京控制工程研究所,北京 100190
对稳频半导体激光器的频率进行在线实时监测的需求量和迫切性一直在不断增长。特别是近几年发展起来的连续波激光雷达通常以单频半导体激光器为种子源,并通过相干检测方式获得雷达信号的频率,从而获得目标物的距离信息,这就使得种子光源的频率精度直接与测距精度密切相关,因此,对光源的频率稳定性的表征也提出了新的要求:更关注短期(在相干时间内,亚微秒~数毫秒)的频率变化模式,对长时段内(数分钟~24 h)的绝对频率高精度监测的需求减弱;同时要求频率监测系统具有在线实时监测能力。针对这些需求,基于延时自外差原理,提出了一种表征稳频激光器的频率变化的方法,经过严谨的原理推导和算法编程,使得监测系统不仅结构简单,还实现了在线实时监测功能,并测量了一台利用氰化氢(H
13
C
14
N)气体吸收谱线基于边频锁定技术的稳频分布反馈式半导体激光器(DFB-LD)频率变化曲线。测量结果是:在10 ms内稳频激光器的最大频率变化约为25 MHz,并且清楚地观察到激光器的频率变化不是单向的漂移模式。为了进一步验证该方法的精度,采用主流的飞秒光频梳拍频法离线测量了同一台稳频DFB-LD的频率变化,实验结果是:在50 min内频率变化约为30 MHz。两种测量方法的测量结果均在相同的MHz量级,证明了该方法是一个快速可靠的光频率分析手段,可应用于实时调节稳频激光器的伺服回路系统。
半导体激光器
自外差探测
频率测量
稳频
semiconductor laser
self-heterodyne detection
frequency measurement
frequency stabilization
PDF全文
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红外与激光工程
2023, 52(10): 20230063
激光器与激光光学
一种基于重叠因子的同轴警戒激光雷达动态范围压缩方法
刘敬
1,2,3
金伟其
1
阙开良
2
作者单位
摘要
1
北京理工大学 光电成像技术与系统教育部重点实验室,北京 100081
2
河北省保定市天河电子技术有限公司,河北 保定 071025
3
河北大学 电子信息工程学院,河北 保定 071000
针对警戒激光雷达近场信号过饱和与雨、雾等天气形成的近距离虚假信号造成“虚警”或“漏警”的问题,研究了一种基于重叠因子的同轴警戒激光雷达动态范围压缩方法。由经典激光雷达方程以及同轴遮挡和激光光斑能量分布的概率密度函数,建立了激光雷达方程修正模型;针对商用警戒激光雷达进行了响应曲线测试,并与基于激光雷达方程修正模型仿真的响应曲线进行对比分析,验证模型的有效性;仿真分析了发射透镜半径、光阑半径、激光发散角、接收透镜焦距四个参数对响应曲线的影响,结果表明:光阑半径是影响响应曲线的最主要因素,增大光阑半径可以显著压缩近场信号,进而压缩响应曲线的动态范围。论文建立的激光雷达方程修正模型对激光雷达初始设计具有重要指导意义及广泛的应用前景。
激光雷达
响应曲线
动态范围压缩
基模高斯激光
LiDAR
response curve
dynamic range compression
fundamental mode Gaussian laser
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红外与激光工程
2023, 52(10): 20230027
激光器与激光光学
激光测距中激光功率实时监测系统设计与实现
吴凡
1,2
翟东升
1,3,4
李祝莲
1,3,4
汤儒峰
1
[ ... ]
李语强
1,3,4
作者单位
摘要
1
中国科学院云南天文台,云南 昆明 650216
2
中国科学院大学,北京 100049
3
中国科学院空间目标与碎片观测重点实验室,江苏 南京 210023
4
云南省太阳物理与空间目标监测重点实验室,云南 昆明 650216
在激光测距过程中,实时获取激光发射功率数据可为后续数据精度处理分析及激光测距系统故障点排查提供重要依据。通过实时测量激光发射链路中的反射镜透射光,利用前期获取的反射镜透射光与反射镜反射光之间的对应关系,采取相对测量的方式获取实时的反射光功率,达到实时监测激光发射功率的效果,并基于中国科学院云南天文台53 cm双筒望远镜激光测距系统搭建实验平台进行验证。实验结果表明,该激光功率实时监测方法能够在激光发射链路无损耗的前提下实时获取激光发射功率;反射光功率与透射光功率具有良好的线性关系,其Spearman相关系数为0.9991,线性关系稳定可靠,满足长时间激光测距的需求;验证了该方法的可行性,可适用于各类空间目标激光测距的激光功率实时监测中。
激光测距
激光功率实时监测
相对测量
库德光路
laser ranging
real-time laser power monitoring
relative measurement
Coude optical system
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红外与激光工程
2023, 52(10): 20230109
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