1 大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室，辽宁 大连 116024
2 大连理工大学宁波研究院，浙江 宁波 315000
3 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所，北京 100076
针对6061铝合金难以在化学机械抛光中获得高表面质量的问题，研究了抛光液中氧化剂（H2O2）、缓蚀剂（BTA）的质量分数和pH值对表面粗糙度的影响。基于响应曲面法设计实验，采用方差分析（ANOVA）检验各参数对表面粗糙度影响的显著性，分析参数的交互影响，得出抛光液的最佳组分配比。结果表明，6061铝合金的表面粗糙度随着pH值的增大先增大后减小再增大，随着H2O2和BTA质量分数的增加先减小后增大。在优选的抛光液参数组合（pH值为9.7，H2O2的质量分数为0.57%，BTA的质量分数为1.16%）下，实现最低表面粗糙度Sa 为0.31 nm，获得了近原子尺度的超光滑表面。
光学设计 6061铝合金 化学机械抛光 响应曲面法 表面粗糙度 近原子尺度
