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铌酸锂作为一种优良的多功能晶体材料，在光学、声学、电学和电子领域应用较广。已有研究表明，在集成光电子器件应用中对铌酸锂晶片进行键合，可提高器件的传输频率，降低损耗，实现高集成密度。该文总结了近年来国内外有关铌酸锂晶片键合技术的研究现状，介绍了键合强度的分析方法，以及铌酸锂键合晶圆在集成光电子器件中的最新研究进展，展望了铌酸锂键合技术的未来发展。
铌酸锂 键合 光电子器件 集成 调制器 lithium niobate bonding optoelectronic device integration modulator
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钽酸锂作为一种优良的多功能晶体材料, 具有良好的压电、电光和热释电等性能, 已被广泛应用于通信、电子等行业。该文介绍了钽酸锂晶体的结构、缺陷及性能调控方式, 总结了钽酸锂晶体的制备方法及优缺点, 分析了钽酸锂晶体在各应用领域的国内外研究进展,并对钽酸锂晶体的发展进行了展望, 以期对钽酸锂晶体的应用及研究提供帮助。
钽酸锂 晶体 化学计量比 晶体制备 滤波器 lithium tantalate crystal stoichiometric ratio crystal preparation wave filter
