温度影响加速度计的性能，误差来源主要由石英材料及封装工艺产生的热应力引起。针对加速度计温度漂移现象，该文介绍了集成式石英谐振加速度计低温漂结构设计和补偿方法。首先通过对称的差分结构消除一阶温度系数，并进行工艺优化，降低封装工艺对谐振器产生的热应力；其次采用随机森林拟合算法建立温度模型来补偿加速度计的温漂。在-20~80 ℃温度范围内对加速度计样机进行温漂测试，结果表明，工艺优化及补偿后的样机偏置稳定性提高了一个数量级。

谐振式加速度计可以将加速度转换为频率信号, 在导航、姿态控制等加速度计的应用领域, 采集信号需要限定在较短时间内, 为了满足应用的要求, 基于一种单基片集成式石英谐振器, 通过现场可编程门阵列(FPGA)实现了一种针对集成式石英谐振加速度计的倍频电路设计方案, 包括时钟自适应模块和锁相环。时钟自适应模块根据当前输入信号产生锁相环基准时钟并将输入信号进行倍频。离心机加速度测试结果表明, 当测量时间由1 s缩短为0.125 s时, 传感器标度因数为3 173 Hz/g(g=9.8 m/s2), 线性相关系数R2=0.999 32, 与未倍频时相比, 标度因数与线性度基本保持不变, 所设计的倍频电路可应用于石英谐振加速度计的信号处理及数据采集系统中。