武汉理工大学,光纤传感技术研究中心,国家光纤传感技术工业性实验基地,武汉,430070
以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波长248nm的KrF准分子激光器,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系.实验证明,随着加工槽深度的增大,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小,当达到一定的脉冲数时,所烧蚀槽的深度基本上保持不变.脉冲能量越大,刻蚀速率越大,其速率同样具有一个上限值.
准分子激光 微加工 刻蚀 能量
1 武汉理工大学,光纤传感技术研究中心,湖北,武汉,430070
2 武汉理工大学,机电工程学院,湖北,武汉,430070
为了探索低成本、大深宽比加工方法,建立了实用的准分子激光微加工系统.以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波长248 nm的KrF准分子激光器,研究了准分子激光直写刻蚀过程中平均刻蚀速率与激光脉冲能量密度之间的关系.加工出的沟槽剖面形状均呈现锥型,单脉冲刻蚀速率随脉冲数的增加而减小,激光脉冲对材料的刻蚀具有能量阈值,加工槽的深度具有上限值.采用平行激光束或对加工过程进行动态控制还可实现矩形深槽或圆柱深孔的加工.
激光微细加工 准分子激光器 激光直写 能量密度 阈值
武汉理工大学光纤传感技术国家重点工业实验基地, 湖北 武汉 430070
为了消除光源强度波动对测量结果的影响,根据溶液浓度与其折射率的关系和光纤法布里-珀罗(F-P)干涉仪透射光谱中心波长与干涉仪腔内介质折射率之间的关系,利用其透射光谱的中心波长进行透明溶液浓度的精确测量,开发出测量实验系统。采用可调光学滤波器对传感信号进行采集。对浓度为5%～80%的酒精进行了实际测量实验,浓度最大测量偏差为0.003%。该系统具有如下特点
测量与计量 浓度测量 光纤传感系统 光纤法布里-珀罗干涉仪 波长 折射率
武汉理工大学光纤传感技术研究中心,光纤传感技术国家重点工业实验基地,湖北,武汉,430070
利用光纤法布里-珀罗(F-P)干涉仪透射光谱的中心波长与其干涉腔内介质折射率之间的线性关系,提出一种实现液体/气体折射率精确测量的方法,消除了光源强度波动对测量结果的影响和量化误差.开发出一套实验系统,采用可调光滤波器对传感信号进行采集.利用一组不同浓度的酒精溶液对折射率与干涉波长之间的关系进行了拟合,拟合误差小于0.00005.对蒸馏水和丙酮折射率的实际测量实验误差小于0.0001.
传感器技术 折射率 法布里-珀罗干涉仪 数据拟合
武汉理工大学光纤传感技术研究中心,国家光纤传感技术工业性实验基地,武汉,430070
应用干涉法实现透明膜系反射率的测量.将待测膜系镀在两薄玻璃片,并构成F-P干涉仪,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值,计算出膜系反射率,避免了光源波动对测量结果的影响.在实验所用膜系的反射率小于98%时,测量误差小于0.09%.
透明薄膜 反射率 法布里-珀罗干涉 波长 transparent films reflectivity Fabry-Perot interfe
武汉理工大学,光纤传感技术研究中心,国家光纤传感技术工业性实验基地,武汉,430070
为了探索准分子激光脉冲直写加工的参数和工艺,建立准分子激光微加工系统和材料加工工艺,对二维加工过程中激光刻蚀效果与扫描速度和激光参数之间的关系进行了理论推导,分析表明最大扫描速度受激光光斑尺寸和重复频率的约束.以玻璃为实验靶材,在2.7×1mm2 范围内进行了二维图形刻蚀实验研究.结果显示,刻蚀对材料周围的热影响很小,刻蚀图形清洁而且清晰,通过控制扫描速度可以获得均匀的二维图形.
准分子激光 直写刻蚀 光斑 微加工 脉冲 Excimer laser Direct etching Laser facula Micro-fabrication Pulse
