河北博威集成电路有限公司，河北 石家庄 050299
使用泛音SC切石英晶体谐振器的恒温晶振需含有电感的带通电路来抑制B模振荡，不利于恒温晶振小型化。该文建立了谐振器的振动模型和等效电参数的计算模型，利用B模、C模在电极内的法向电流密度分布差异对电极进行裁剪，设计了B模抑制电极，调整两种模式的压电耦合效率，成功设计出B模自抑制的19.2 MHz三次泛音SC切晶体谐振器。结果表明，该方法有助于小型化SC切恒温晶体振荡器使用泛音晶体，以实现更高的指标。
SC切谐振器 B模抑制 电极 等效电感 法向电流密度 SC cut crystal resonator B mode suppression electrode equivalent inductance normal current density
1 中国电子科技集团公司第十三研究所, 河北 石家庄 050051
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SC切石英晶体谐振器是恒温晶振的核心器件, 但生产中发现高频SC切石英晶体谐振器的等效电感存在与理论值偏差、一致性差的问题。该文提出了石英晶体谐振器等效电感的计算模型, 并系统仿真了生产中可能影响等效电感一致性的因素。仿真结果表明, 电极厚度、微调量和微调斑偏移对等效电感的一致性影响不大, 而晶片的平行度是影响等效电感一致性的关键, 该结论有助于提高SC切石英晶体谐振器的指标和一致性。
SC切谐振器 晶片平行度 电极 等效电感 能陷理论 SC cut crystal resonator crystal parallelism electrode equivalent inductance energy trapping theory
