上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系 微纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240
受环境因素的影响,压电谐振器的共振频率会发生漂移。调谐技术因采用特定的手段主动调节共振频率而得到广泛应用,但传统附加质量块、激光烧蚀等机械调谐技术费时费力,灵活性不好。针对方体压电谐振器该文提出了一种激励信号幅值调谐和直流调谐的电调谐方法,可精密调节谐振器的共振频率。设计了一种基于ZYNQ系列主控芯片的数字化测控电路,实现了振子扫频激励、输出信号的幅值相位检测,为激励信号幅值调谐和直流调谐提供了实验硬件平台。实验结果表明,激励信号幅值调谐的共振频率变化范围为347, 850~348, 000 kHz,直流调谐的调节范围为347, 720~347, 820 kHz。该技术为压电谐振器共振频率精密调节提供可靠的理论与实践途径。
压电谐振器 现场可编程门阵列(FPGA) 共振频率调谐 幅值调谐 直流调谐 piezoelectric resonator field-programmable gate array(FPGA) resonance frequency tuning amplitude tuning DC tuning