提出了一套应用于准分子激光微加工同轴观测的自动跟踪系统。该系统具有一定的抗抖动能力。首先介绍了该系统的硬件组成部分: (1)显微镜的镜片改造。(2)机械控制平台的搭建, 该部分内容介绍了各个硬件的功能以及它们之间的相互关系。然后简单介绍了该系统的跟踪原理, 主要包括部分重点算法的介绍以及控制软件判断流程图。分析了在打开/关闭跟踪功能后, 通道的加工质量差别。分析了打开/关闭跟踪功能后中心位移的偏移量差别, 验证了自动跟踪的抗振动功能。最后, 针对该系统功能进行了实验, 成功实现了对预设曲线(对应于微通道的轨迹曲线)进行刻蚀加工的跟踪功能。
准分子激光 同轴观测 表面粗糙度 自动跟踪 excimer laser coaxial observation surface roughness automatically track
