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现代应用光学
可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化
付秀华
1,2
魏雨君
1,2,*
林兆文
2,3
潘永刚
2,3
[ ... ]
付广元
1,2
作者单位
摘要
1
长春理工大学 光电工程学院,吉林长春30022
2
长春理工大学 中山研究院,广东中山58436
3
中山吉联光电科技有限公司,广东中山52846
4
云南北方光学科技有限公司,云南昆明650216
为提升光学镜头的成像质量,消除杂散光的影响,以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1%的减反射膜。采用电子束离子辅助沉积的制备方式,针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题,通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差,提高制备精度和成膜稳定性。对减反射膜进行环测实验,优化调整工艺参数,侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力。实验结果表明,最终制备出的减反射膜在420~680 nm波段内的平均反射率约为0.044%,最高反射率为0.071 2%,克服了以MgF
2
为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题,满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求。
光学薄膜
电子束蒸发镀膜
误差控制
机械性能
可见光
反射率
thin film
electron beam evaporation coating
error control
mechanical properties
visible light
reflectance
PDF全文
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光学 精密工程
2024, 32(1): 1
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