强激光与粒子束
2021, 33(3): 034005
针对在线检测与现场控制中的线位移传感器,提出了一种基于气浮式基线及双层式可分离工作台的线位移传感器校准方法。研制出适用于不同型式的线位移传感器的校准装置,综合不同的输出方式设计了接线盒,同时基于C#和ACCESS软件开发了数据处理和模拟软件,对其基本误差、线性度、灵敏度等参数的校准进行了实验研究,并经比对试验验证了该校准方法的合理性与有效性。
线位移传感器 线性度 校准 linear displacement sensor linearity calibration
西安飞行自动控制研究所, 陕西 西安 710065
变栅距光栅线位移传感器是一种新型波长编码位移传感器,为进一步提高传感器波长解调的精度和减小光源的体积,提出适用于全工作波段的恒定闪耀角变栅距光栅结构。首先采用经典光学的方法推导出变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式,从理论上证明该光栅结构可实现在全工作波段提高变栅距光栅线位移传感器衍射光强。此外,制作出变栅距闪耀光栅样件证实了工艺可行性。在相同的条件下,对一组参数相同的闪耀光栅和矩形槽形光栅进行了衍射光强比对实验,得到变栅距闪耀光栅的衍射光强约为矩形变栅距光栅的衍射光强的1.7倍,并与按此衍射光强分布公式计算的结果一致。
线位移传感器 变栅距闪耀光栅 衍射强度 linear displacement sensor varied line-space blazed grating diffraction intensity