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以混合酸作为腐蚀液, 腐蚀陶瓷介质层晶粒晶界, 再使用扫描电子显微镜进行微观结构观察。试验结果表明, 腐蚀液的种类、浓度、腐蚀时间及温度均对腐蚀效果影响较大。最终确定适宜的腐蚀条件为: 氢氟酸-硝酸体系,氢氟酸2 mL,硝酸5 mL,配置成100 mL溶液, Class 2(BaTiO3)陶瓷室温下腐蚀时间50 s, Class 1((Sr,Ca)(Zr,Ti)O3)陶瓷腐蚀15 s。
酸腐蚀 片式多层陶瓷电容器 晶界 微观结构 acid corrosion multi-layer ceramic capacitors ceramic grain microstructure
