作者单位
摘要
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
为了在高温环境下测量角位移, 研制了一种基于光纤的耐高温增量式光电编码器。针对高温工作环境提出利用耐高温的光纤传输光, 在常温环境中采用FPGA处理增量式编码器的电信号, 并通过USB传输角度信息; 分析光源光束准直度对光电编码器的影响, 提出采用LED凸透镜光纤耦合的方式获得平行光; 最后, 使用自准直平行光管和23面体检测精度, 并对比LED凸透镜耦合方式和直接耦合方式的精度。实验结果表明: 该系统在100 ℃的高温环境下工作正常, 编码器头部外型尺寸为62 mm×42 mm, 分辨力为0.3″, 精度3σ=13.55″; 与LED直接耦合方式相比精度提高了20.8%, 满足高温环境下角位移测量的需求。
光电编码器 光纤 耐高温 LED凸透镜光纤耦合 增量式 photoelectronic encoder fiber high-temperature resistant LED convex lens fiber couple incremental FPGA+USB FPGA+USB 
光学 精密工程
2019, 27(7): 1458

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