1 中国科学院理化技术研究所, 北京 100190
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 重庆 401122
基于矢量衍射理论,计算了多个可见光波段激光经紧聚焦后在焦点附近的双光子点扩散函数。 计算结果表明,双光子吸收效应的作用区域随着波长的减小而减小。采用多个可见光波段飞秒激光 光源进行了双光子光聚合加工,并对加工分辨率和加工阈值进行了分析。实验结果表明,在每个激光 波长条件下,降低光子流密度能够提高加工分辨率；随着加工波长的减小,双光子跃迁过程逐渐满足 近共振跃迁条件,双光子吸收几率逐渐增大,双光子加工的阈值逐渐降低。
激光技术 分辨率 双光子加工 聚合阈值 laser techniques resolution two-photon fabrication polymerization threshold
1 中国科学院 理化技术研究所， 北京 100190
2 中国科学院 研究生院, 北京 100190
采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法，曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率，分别在玻璃基板上获得了35 nm和45 nm的聚合物纳米线条,分别为所使用激光波长的1/22和1/17。实验结果表明，当曝光时间或曝光功率在加工阈值附近时，曝光时间和功率的微量减少会使聚合线宽急剧下降。
飞秒激光 双光子加工 线宽分辨力 聚合阈值 聚合度 femtosecond laser two-photon fabrication line width resolution polymerization threshold degree of polymerization
