中国电子科技集团公司第四十一研究所, 山东青岛 266555
随着太赫兹探测技术的发展, 精确测量太赫兹探测器的光谱响应变得越来越重要。分析了太赫兹探测器相对光谱响应的测量原理, 搭建了一套太赫兹探测器相对光谱响应测量系统,对系统测量不确定度来源进行分析, 选用太赫兹探测器对测量系统不确定度进行验证。通过分析实验数据可知, 在 1~10 THz范围内, 系统的扩展不确定度为 9.2%, 可以满足目前太赫兹探测器相对光谱响应测量的需求。
太赫兹探测器 光谱响应度 交替法 测量不确定度 terahertz detector relative spectral response alternate method uncertainty of measurement 太赫兹科学与电子信息学报
2022, 20(12): 1245
