测量高超声速风洞试验中模型颤振数据对飞行器安全设计至关重要，接触式传感器测量存在精度低、使用不便等缺点。本文采用非接触式立体视觉三维测量技术，测量试验过程中模型表面关键点的振动变形，为模型颤振分析提供基础数据。为了克服试验过程中试验段内的气压从真空到常压交替变化引起的强烈振动，通过设计视觉测量系统密封装置与气浮减振器，将视觉三维测量装备放置到Φ1 m高超声速风洞试验段内，并提出基于模型关键点与系统参数同时求解的系统参数自校准算法，消除试验段环境振动引起的测量误差。试验结果表明：在测量范围为1 m×1 m×1 m、相机分辨率为1 000×1 000 pixel时，系统的测量精度优于0.1 mm，满足高超声速风洞试验模型颤振的测量需求。