作者单位
摘要
1 西安交通大学 微电子学院, 西安 710049
2 广东顺德西安交通大学研究院, 广东 佛山 528000
3 成都振芯科技股份有限公司, 成都 610000
设计了一种6 bit 6~18 GHz工作频段的宽带高精度有源移相器。片上集成了输入无源巴伦、逻辑编码器、RC多相滤波器、矢量合成单元、数控单元等。该移相器的设计采用55 nm CMOS工艺实现,芯片尺寸为1.29 mm×0.9 mm,移相器核心尺寸为1.02 mm×0.58 mm。后仿结果表明,在6~18 GHz频率范围内,增益误差RMS值小于1 dB,相位误差RMS值小于0.75°,输入回波损耗、输出回波损耗分别小于-8.5 dB、-8.9 dB,芯片总功耗为20.7 mW。该6 bit移相器的相对带宽为100%,覆盖C、X和Ku波段,适用于雷达探测等领域。
相控阵 有源移相器 正交网络 多相滤波器 矢量合成 phased array active phase shifter quadrature network poly phase filter vector-sum 
微电子学
2022, 52(4): 651

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