1 西南交通大学超导与新能源研究开发中心, 成都 610031
2 西南交通大学物理科学与技术学院, 成都 610031
作为一种铁基超导薄膜, Fe(Se,Te)薄膜具有晶体结构简单、所包含的元素较少、易于合成的特点, 不仅有利于超导机理研究而且有着潜在的技术应用价值。本文通过磁控溅射在温度为320 ℃的CaF2单晶衬底上制备了Fe(Se,Te)薄膜, 并在氩气氛围下进行了退火处理。研究了退火时间对Fe(Se,Te)薄膜的晶体结构、微观形貌、成分组成以及电输运特性的影响。结果表明: Fe(Se,Te)薄膜的结晶性较好, 退火有助于消除薄膜样品中的FeSe相, 薄膜的晶格常数c对退火不敏感, 退火后薄膜晶粒尺寸变大; Fe(Se,Te)薄膜成分与靶材的名义组分存在一定的偏差, 退火时间越长, Fe(Se,Te)薄膜表面的颗粒越密集; Fe(Se,Te)薄膜的电阻随温度升高而减小, 呈现出半导体特性, 退火3 h后电阻明显增大。
Fe(Se,Te)薄膜 磁控溅射 氩气退火 电输运特性 铁基超导薄膜 Fe(Se,Te) thin film magnetron sputtering argon annealing electrical transport characteristic iron-based superconducting thin film
深圳大学材料学院 深圳市特种功能材料重点实验室, 广东 深圳 518060
采用射频磁控溅射法, 在石英玻璃衬底上制备出了性能良好的H掺杂AZO透明导电薄膜, 通过XRD、Hall、UV-Vis等测试手段, 研究了氩气气氛中退火温度对薄膜电学热稳定性的影响。实验结果显示, 随着退火温度的升高, 薄膜中载流子的浓度和迁移率下降。分析认为, 这与薄膜中氢的逸出密切相关。
H掺杂AZO薄膜 氩气退火 热稳定性 Hall测试 HAZO films post-annealing treatment thermal stability hall effect
