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5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器
范灏然
1
陈曦
1,*
郑磊
1
谢文侠
1
[ ... ]
郑权
1,2
作者单位
摘要
1
长春新产业光电技术有限公司, 吉林 长春 130012
2
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
为了提高半导体检测用深紫外激光器的检测效率,需要搭建高功率、高重频257 nm深紫外皮秒激光器实验平台。本文以光子晶体光纤放大器和腔外四倍频结构为基础,进行了257 nm深紫外激光器的实验研究。种子源采用中心波长为1030 nm、脉冲宽度为50 ps的光纤激光器,输出功率为20 mW,重复频率为19.8 MHz。通过两级掺镱双包层(65 μm/275 μm)光子晶体光纤棒放大结构,获得了1030 nm高功率基频光。利用二倍频晶体LBO、四倍频晶体BBO,采用腔外倍频方式获得了257 nm深紫外激光。种子源通过两级光子晶体光纤放大器输出的1030 nm基频光,输出功率为86 W,经过激光聚焦系统后,倍频得到二次谐波515 nm激光输出功率为47.5 W,四次谐波257 nm深紫外激光输出功率为5.2 W,四次谐波转换效率为6.05%。实验结果表明,该结构可获得高功率257 nm深紫外激光输出,为提高半导体检测用激光器的检测效率提供了新思路。
深紫外皮秒激光器
高重频
光子晶体光纤放大器
四次谐波产生
deep ultraviolet picosecond laser
high repetition frequency
photonic crystal fiber amplifier
fourth harmonic generation
PDF全文
Full Text
中国光学
2023, 16(6): 1318
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