作者单位
摘要
1 中国科学技术大学 纳米技术与纳米仿生学院,合肥 230026
2 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州 215123
设计并制作了一款直径为1.1 mm、频率为31.11 kHz的MEMS压电微镜,用于需要高速扫描且小尺寸的应用场景。该器件所需模态为扭转模态,与其他模态分离情况好,不会出现耦合。实验结果显示,电压为32 V时光学扫描角40.66°,品质因子1 155。改变PZT极性,实验得到了薄膜材料的铁电性质影响。另外,完成了MEMS微镜在0 ℃~100 ℃不同温度下角度的变化实验,偏离不超过±1°。仿真模拟、实验结果和理论计算结果三者拟合情况好,表明该设计的微镜具有较高的可控性和稳定性,为实现高精度扫描提供了有力支持。该MEMS压电微镜在AR/VR等领域中具有潜在的应用前景。
压电微镜 压电陶瓷 微机电系统 激光光束扫描 AR/VR Piezoelectric micro mirror Piezoelectric ceramic Micro-electro-mechanical systems Laser beam scanning AR/VR 
光子学报
2023, 52(12): 1223001
作者单位
摘要
南京信息工程大学 物理与光电工程学院,江苏 南京 210044
激光光束整形技术在现代激光工业领域具有重要作用,为了克服传统激光光束整形自由曲面构造中存在法向矢量偏差的局限性,文中提出一种正交双向迭代的自由曲面设计方法。该方法基于能量守恒和斯涅尔定律建立光源与目标面的能量映射关系,通过正交方向坐标点迭代获得自由曲面数据点,同时利用相邻坐标点的均值进行曲面法向矢量修正,从而提高自由曲面的构造精度。设计实例表明,准直入射的激光光束经自由曲面整形反射镜,在特定目标区域内可形成高均匀度光斑。进一步从自由曲面的连续性、拟合精度与面形误差三个方面,与传统设计方法进行了详细对比分析。结果表明,所提设计方法得到的激光光束整形自由曲面连续性与平滑度更好,拟合精度更高;且在加工误差允许范围内,目标面的辐照度均匀性更稳定。
激光光束整形 自由曲面设计 正交双向迭代 法矢修正 laser beam shaping freeform surface design iteration in two orthogonal directions normal vector correction 
红外与激光工程
2023, 52(7): 20230299
作者单位
摘要
1 华中科技大学光学与电子信息学院,湖北 武汉 430074
2 湖南理工学院信息科学与工程学院信息光子学与空间光通信湖南省重点实验室,湖南 岳阳 414006
利用环形艾里振幅调制部分相干光(PCB),解决PCB的光束扩散问题,并研究了艾里函数尺度因子、截断孔径和相干长度对光束自聚焦距离和聚焦强度的影响,以及部分相干环形艾里光束在湍流环境中的闪烁指数。研究结果表明:通过调制环形艾里振幅可以控制PCB的聚焦距离,并在保留PCB对抗湍流影响、减轻光强闪烁的同时减少光束发散,聚焦点处光强闪烁较原本PCB得到进一步降低。
物理光学 湍流光学 激光传输 激光光束特性 环形艾里部分相干光 自聚焦 光束调控 
光学学报
2022, 42(20): 2026002
作者单位
摘要
西安应用光学研究所,陕西 西安 710065
光束指向稳定性是高能激光应用研究中的一项关键指标,光束指向稳定性的检测是高能激光系统性能实现的重要环节。以长焦距聚焦反射镜与高分辨率CCD (charge coupled device) 为主要元件,构建高精度的光束指向检测装置。采用灰度重心法定位光斑中心,并以理想光斑与实测光斑为例进行验证,误差小于1个像元。利用CCD高频采样,统计单位时间内光斑中心位移,获得光束指向稳定性指标,检测实例精度可达1.25 μrad。该方法简便易行,测量精度高,适用于各种波长的激光光束指向检测以及其他相关参数的测量。
激光光束 指向稳定性 光斑中心定位 灰度重心法 laser beam pointing stability center location of laser spot gray centroid method 
应用光学
2022, 43(2): 339
田永昊 1,2白芳 1麻云凤 1,2,*程旺 1[ ... ]樊仲维 1
作者单位
摘要
1 中国科学院空天信息创新研究院,北京 100094
2 中国科学院大学光电学院,北京 100049
提出了一种千瓦级半导体激光器叠阵中单巴条的激光功率和光谱参量的集成测试技术。利用自主研发的光阑将激光器叠阵中任意单巴条的光束与其他巴条的光束分离,并利用积分球对分离出的单巴条光束的功率和光谱参量进行集成测试,再与整个激光器叠阵的功率和光谱参量的集成测试结果进行比对。实验结果表明:利用自主研发的光阑实现了将1 kW激光器叠阵中任意单巴条光束与其他巴条光束的分离,光阑对单巴条光束的透过率为98%;结合积分球集成测试系统实现了激光器叠阵中所有巴条的单独测试,解决了激光器叠阵中单巴条测试需要拆封的传统问题。此外该系统实现了对整个激光器叠阵的快速扫描测试,可直观反映激光器叠阵中每个巴条的情况。
测量 二极管激光器阵列 激光光束特性 积分球 
激光与光电子学进展
2021, 58(23): 2312004
作者单位
摘要
1 泰山学院物理与电子工程学院, 山东 泰安 271021
2 南开大学现代光学研究所天津微尺度光信息科学技术重点实验室, 天津 300350
设计了一种用于产生多轴非对称结构光束的新型多轴非对称指数型锥器件,器件由非对称结构和多轴结构复合而成。利用理论计算、数值模拟和实验测量方法,验证了多轴非对称结构光束在传播过程中会产生多个焦点并且具有独特的能流特性。利用这一特性设计并开展了利用聚焦多轴非对称结构光束操控聚苯乙烯荧光微球的实验,结果表明,多轴非对称结构光束使得聚苯乙烯微球在被捕获过程中表现出“加速-减速-再加速”的运动规律,与模拟计算结果一致。多轴非对称指数型锥器件及其产生的多轴非对称结构光束在药物传输、微粒筛选等领域中有着重要的应用价值。
微纳光学 微光学元件 相位调制 激光光束整形 光学捕获 光学操纵 
中国激光
2021, 48(24): 2413001
杨红伟 1,2杜益冕 2吕立冬 2陶卫 1[ ... ]赵辉 1,*
作者单位
摘要
1 上海交通大学电子信息与电气工程学院, 上海 200240
2 安徽工业大学电气与信息工程学院, 安徽 马鞍山 243032
激光光源的方向抖动是激光三角位移传感器测量误差的重要来源。为了抑制光源光束抖动,设计了一种基于差分成像的激光光束指向控制装置。该装置由一个准直激光器和两个接收透镜组组成,其中两个接收透镜组关于发射激光光束的光轴对称,每个接收透镜组由一个聚焦透镜和一个光电电荷耦合器件组成。激光光源光束抖动角度控制在0.4°以内时,成像在两个光电探测器上的激光光束的质心的均值可控制在误差许可的范围内。实验结果表明,采用该装置,拟合误差的估计标准差由28.53 μm减小至0.2532 μm,重复性精度由原来的±0.7 mm降低至±5 μm,非线性误差由全量程的±0.8% 减小至全量程的±0.04%。
几何光学 激光三角位移传感器 激光光束指向性 差分成像 
中国激光
2021, 48(17): 1705002
作者单位
摘要
华侨大学信息科学与工程学院, 福建省光传输与变换重点实验室, 福建 厦门 361021
介绍了激光光束经过湍流大气以及散射介质的传输特性。当激光在湍流大气中传输时, 湍流大气的扰动会影响光束的传输特性。此时, 激光光束仍然保持光束的特性, 因此可以应用扩展的 Huygens-Fresnel 衍射积分研究激光在湍流大气中的传输特性。研究表明, 当光束在湍流大气中传输时, 光束的光斑大小、偏振态、空间相干度、闪烁因子等参数发生了变化。这些参数的变化除了与大气湍流性质有关外, 还与光束的特性有关。因此选择合适的入射光束可以减低湍流大气对光束传输的影响。当相干激光经过散射介质后, 会呈现散斑。通过调控入射激光的波前, 可以使得激光经过散射介质后聚焦。介绍了实现激光经过散射介质聚焦的技术, 包括基于迭代反馈的波前整形技术、传输矩阵, 以及数字相位共轭技术等。最后, 展望这些技术应用于激光在实际大气中的传输, 实现激光穿云透雾的目标。
激光技术 湍流大气 散射介质 激光光束 传输 波前调控技术 aser technology turbulent atmosphere scattering medium laser beam propagation wavefront shaping 
量子电子学报
2020, 37(5): 534
作者单位
摘要
西安应用光学研究所,陕西 西安 710065
传统激光光束质量测量方法在CCD相机靶面前激光光路上加装可调衰减模块,对激光光束进行衰减。但该方法受限于CCD相机像元尺寸限制,难以进行高精度测量。为此该文提出了一种滚轮狭缝式激光光束质量评价方法,在测量时采用狭缝滚轮上的扫描狭缝直接扫描被测激光光束,使用InGaAs探测器配合聚焦透镜进行测量。经过与电机同轴的高精度增量式编码器确保采集位置与采集数据同步,扫描频率根据被测激光脉冲频率和光斑的直径范围可进行调整,该方法对光斑空间采样分辨率优于1 μm。实验结果表明,采用该方法测得的激光M2因子数值与被测激光器提供数值一致,测量不确定度小于10%。
激光光束质量 狭缝 转动滚轮 扫描频率 laser beam quality slit rotating roller scanning frequency 
应用光学
2020, 41(4): 704
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
反射镜是自由电子激光光束线中的重要光学元件,反射镜自重引起的面形误差会严重影响光束线的成像质量。为减小自重引起的面形误差,基于Bessel点理论提出了重力补偿方案,并设计了无应力夹持装置,利用有限元软件对该装置进行仿真分析。以尺寸为440 mm×50 mm×50 mm的反射镜为例进行分析,传统支撑方式下反射镜下表面面形误差为1.647 μrad,采用本文提出的夹持方案后面形误差降至0.085 7 μrad,优于工程指标0.1 μrad。为防止反射镜在工作模式切换时发生窜动,可对反射镜添加不超过2 N的微小夹持力,此时反射镜的面形误差为0.093 9 μrad。此外,还对装置进行了动力学分析,结果显示:该设计方案可有效防止装置存在较低的固有频率,在使用过程中不会产生共振现象,满足光束线的使用需求。
面形误差 无应力夹持 有限元分析 重力补偿 自由电子激光光束线 deformation error stress-free clamping finite element analysis gravity compensation free-electron laser beamline 
中国光学
2020, 13(4): 787

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