中国计量学院太赫兹技术与应用研究所, 浙江 杭州 310018
提出了一种利用蓝光半导体激光器(405 nm)进行激光诱导化学镀铜制备超材料太赫兹器件的方法。此法加工的金属结构线宽可调，最小为5 μm，厚度可由镀铜时间来调节。使用太赫兹时域光谱系统对加工的太赫兹带阻滤波器进行了测试，测试结果与时域有限差分仿真计算基本相符，器件加工质量符合设计要求。使用半导体激光器进行激光诱导化学镀制备超材料太赫兹器件具有能耗低、设备成本低、性价比高等优点。
光学器件 半导体激光器 激光诱导化学镀 超材料 太赫兹器件 太赫兹时域光谱 光学学报
2013, 33(12): 1223002
1 中国计量学院 太赫兹技术与应用研究所, 杭州 310018,
2 中国计量学院 太赫兹技术与应用研究所, 杭州 310018
为了提高工作在太赫兹波段偏振分束器的性能, 采用激光诱导与化学镀铜的方法在聚酰亚胺衬底上制作了亚波长周期金属线栅太赫兹偏振分束器, 并以返波振荡器作为太赫兹辐射源搭建了偏振分束特性测试系统。当入射波频率为340GHz、入射角为45°时, 测得在入射波偏振在0°～180°变化过程中, 该偏振分束器具有良好的偏振分束特性, 透射和反射的消光比分别为27.3dB和10.5dB, 插入损耗分别为0.13dB和0.32dB; 用太赫兹时域光谱系统测得偏振分束器在0.2THz～1.5THz频域内透射消光比大于18dB。结果表明, 测试结果与时域有限元方法模拟结果基本吻合。
光学器件 亚波长线栅 太赫兹 偏振分束器 激光诱导化学镀 optical devices sub-wavelength wire-grid terahertz polarizing beam splitter laser induced and non-electrolytic plating
