1 天津职业技术师范大学 机械工程学院，天津 300222
2 天津职业技术师范大学 机械工程学院，天津 300222天津市高速切削与精密加工重点实验室，天津 300222
为了能够实现高精度的微纳米级转动，该文基于柔性铰链设计了一种单压电陶瓷驱动的纯转动微定位平台。平台采用圆周阵列式柔性梁实现运动导向与解耦，通过杠杆机构增大动平台转动行程。首先通过有限元仿真验证了圆周阵列式柔性梁对动平台轴心漂移的抑制作用，然后通过实验对其运动特征进行测试与分析。测试结果表明，该机构具有良好的回转精度，在x轴正方向轴心漂移量为0~0.23 μm，y轴负方向轴心漂移量为0~4.59 μm，旋转弧度可达916 μrad，旋转精度为0.53 μrad。轴心漂移补偿后整体误差最大为4.9%。
压电陶瓷 微转动平台 柔性铰链 轴漂 旋转弧度 piezoelectric ceramic micro-rotational platform flexible hinge axial drift rotation radian
为设计一种高精度、结构简单的大变形柔性铰链, 提高并联平台的运动精度和零件使用寿命, 本文提出了一种Y型柔性铰链。首先, 借助ANSYS和ADAMS进行柔性铰链的回转中心、安装方式和行程要求的分析研究。接着, 利用数控机床进行柔性铰链的加工制作。然后, 利用光学坐标测量仪OPTOTRAK进行柔性铰链的轴漂测量实验。最后, 进行了转动副并联平台、单片簧柔性铰链并联平台和Y型柔性铰链并联平台的圆轨迹实验。实验结果表明: Y型柔性铰链回转误差最大值为0.5962mm, Y型柔性铰链并联平台圆轨迹的误差最大值比转动副并联平台减小了42.7%。Y型柔性铰链可以很好地替换并联平台中的转动副, 提高并联平台运动精度。
柔性铰链 轴漂 并联 Flexure hinge axis drift parallel
