光学学报, 2017, 37 (10): 1012006, 网络出版: 2018-09-07
用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制 下载: 821次
Design and Control of Ultra-Precision Fine Positioning Stage for Scanning Beam Interference Lithography
测量 扫描干涉场曝光 微动台 条纹周期测量精度 相位锁定 measurement scanning beam interference lithography fine positioning stage fringe period measurement accuracy phase locking
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