International Journal of Extreme Manufacturing, 2020, 2 (1): 012005, Published Online: Jun. 4, 2020
The recent development of soft x-ray interference lithography in SSRF
知识挖掘
相关论文
1. Optical beat notes assisted attosecond soft X-ray pulse generation in high-gain free electron lasers
2023年
2023年
2023年
5. 自支撑Al滤光片的制备
2022年
2022年
2007年
2007年
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
本文研究领域论文发表情况(统计图):
Jun Zhao, Shumin Yang, Chaofan Xue, Liansheng Wang, Zhaofeng Liang, Lei Zhang, Yong Wang, Yanqing Wu, Renzhong Tai. The recent development of soft x-ray interference lithography in SSRF[J]. International Journal of Extreme Manufacturing, 2020, 2(1): 012005.