液晶与显示, 2013, 28 (2): 224, 网络出版: 2013-04-15
改善4-Mask工艺Al腐蚀的方法
Preventing Method of Al Corrosion for Applying Improved 4-Mask
基本信息
DOI: | 10.3788/yjyxs20132802.0224 |
中图分类号: | TN305.7 |
栏目: | 器件物理及器件制备技术 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2012-08-23 |
修改稿日期: | 2012-09-13 |
网络出版日期: | 2013-04-15 |
通讯作者: | 张光明 (zgm20030530225@163.com) |
备注: | -- |
张光明, 刘杰, 徐守宇, 郑云友, 吴成龙, 曲泓铭, 李伟, 宋泳珍, 李正勳. 改善4-Mask工艺Al腐蚀的方法[J]. 液晶与显示, 2013, 28(2): 224. ZHANG Guang-ming, LIU Jie, XU Shou-yu, ZHENG Yun-you, WU Cheng-long, QU Hong-ming, LI Wei, SONG Yong-zhen, LI Zheng-xun. Preventing Method of Al Corrosion for Applying Improved 4-Mask[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2013, 28(2): 224.