液晶与显示, 2013, 28 (2): 224, 网络出版: 2013-04-15
改善4-Mask工艺Al腐蚀的方法
Preventing Method of Al Corrosion for Applying Improved 4-Mask
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张光明, 刘杰, 徐守宇, 郑云友, 吴成龙, 曲泓铭, 李伟, 宋泳珍, 李正勳. 改善4-Mask工艺Al腐蚀的方法[J]. 液晶与显示, 2013, 28(2): 224. ZHANG Guang-ming, LIU Jie, XU Shou-yu, ZHENG Yun-you, WU Cheng-long, QU Hong-ming, LI Wei, SONG Yong-zhen, LI Zheng-xun. Preventing Method of Al Corrosion for Applying Improved 4-Mask[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2013, 28(2): 224.