液晶与显示, 2017, 32 (11): 847, 网络出版: 2017-12-01
TDDI产品Mo-Al-Mo膜层腐蚀原因分析及改善
Analysis and improvement of Mo-Al-Mo film corrosion in TDDI products
基本信息
DOI: | 10.3788/yjyxs20173211.0847 |
中图分类号: | TP394.1;TH691.9 |
栏目: | 材料科学 |
项目基金: | 京东方TFT良率提升基金 |
收稿日期: | 2017-05-14 |
修改稿日期: | 2017-07-11 |
网络出版日期: | 2017-12-01 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
李森, 尚建兴, 张大伟, 田露, 张鹏曲, 肖红玺, 郝金刚, 黄东升, 王威, 张学智. TDDI产品Mo-Al-Mo膜层腐蚀原因分析及改善[J]. 液晶与显示, 2017, 32(11): 847. LI Sen, SHANG Jian-xing, ZHANG Da-wei, TIAN Lu, ZHANG Peng-qu, XIAO Hong-xi, HAO Jin-gang, HUANG Dong-sheng, WANG Wei, ZHANG Xue-zhi. Analysis and improvement of Mo-Al-Mo film corrosion in TDDI products[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(11): 847.