TDDI产品Mo-Al-Mo膜层腐蚀原因分析及改善

李森; 尚建兴; 张大伟; 田露; 张鹏曲; 肖红玺; 郝金刚; 黄东升; 王威; 张学智

doi:doi:10.3788/yjyxs20173211.0847

液晶与显示, 2017, 32 (11): 847, 网络出版: 2017-12-01

TDDI产品Mo-Al-Mo膜层腐蚀原因分析及改善

Analysis and improvement of Mo-Al-Mo film corrosion in TDDI products

李森尚建兴张大伟田露张鹏曲肖红玺郝金刚黄东升王威张学智

作者单位

北京京东方光电科技有限公司, 北京 100176

补充材料

李森, 尚建兴, 张大伟, 田露, 张鹏曲, 肖红玺, 郝金刚, 黄东升, 王威, 张学智. TDDI产品Mo-Al-Mo膜层腐蚀原因分析及改善[J]. 液晶与显示, 2017, 32(11): 847. LI Sen, SHANG Jian-xing, ZHANG Da-wei, TIAN Lu, ZHANG Peng-qu, XIAO Hong-xi, HAO Jin-gang, HUANG Dong-sheng, WANG Wei, ZHANG Xue-zhi. Analysis and improvement of Mo-Al-Mo film corrosion in TDDI products[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(11): 847.