量子电子学报, 2014, 31 (1): 1, 网络出版: 2014-02-26
应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展
Recent advances in multilayer coatings for extreme ultraviolet lithography
激光技术 极紫外光刻 极紫外多层膜 沉积方法 laser techniques extreme ultraviolet lithography extreme ultraviolet multilayer coatings deposition method
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