中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室, 安徽 合肥 230031
实验研究了激光诱导化学沉积法(LICDM)制备锥形光纤表面增强拉曼散射(SERS)探针及其SERS检测性能。结果表明，因不同角度光纤探针锥面出射光场分布不同，导致了LICDM在制备小锥角光纤探针时沉积纳米颗粒的困难，但是通过延长反应时间，利用银纳米颗粒的光散射效应可改善小角度光纤探针表面纳米颗粒的制备效果。实验利用100 mW的诱导激光，在0.005 mol/L反应液中，经60 min沉积，制备出了不同锥角的光纤探针。对光纤探针的测试结果表明，锥角为8.2°的光纤探针所测得的SERS频移峰及其荧光背景的幅度最大，且该角度在不同SERS激发光功率下基本不变。
光纤光学 锥形光纤探针 表面增强拉曼散射 银纳米颗粒 激光诱导化学沉积方法 消逝波
中国科学院安徽光学精密机械研究所, 安徽省光子器件与材料重点实验室, 安徽 合肥 230031
极紫外光刻是采用波长为13.5 nm的极紫外光作为光源,实现半导体集成电路工艺22 nm以及更 窄线宽节点的主要候选光刻技术。性能优越稳定的多层膜技术是构建整个极紫外光刻系统的重要技术之一。 从高反射率、波长匹配、控制面形以及稳定性和寿命方面总结了极紫外光刻系统中多层膜的性能要求和 最新的研究进展,叙述了制备高性能多层膜的方法和沉积设备,讨论了多层膜制备技术存在的问题和发展的方向。
激光技术 极紫外光刻 极紫外多层膜 沉积方法 laser techniques extreme ultraviolet lithography extreme ultraviolet multilayer coatings deposition method
