溶胶凝胶法制备以Al2O3为界面修饰层的铪铟锌氧薄膜晶体管 | 发光学报 -- 中国光学期刊网

发光学报, 2016, 37 (1): 50, 网络出版: 2016-03-22

溶胶凝胶法制备以Al2O3为界面修饰层的铪铟锌氧薄膜晶体管

Solution Processed HfInZnO Thin Film Transistors with HfSiOx Dielectrics Modified by Al2O3 Films

高娅娜 ^1,2,*许云龙 ^1,2张建华 ²李喜峰 ²

作者单位

¹ 上海大学材料科学与工程学院, 上海200072

² 上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室, 上海200072

溶液法薄膜晶体管界面修饰层Al2O3 solution process thin film transistors modification layer Al2O3

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