中国激光, 2004, 31 (6): 698, 网络出版: 2006-06-12
环境气压对脉冲激光烧蚀沉积纳米Si薄膜表面粗糙度的影响
Influence of Inert Gas Pressure on the Surface Roughness of Silicon Film Prepared by Pulsed Laser Deposition
薄膜物理学 Si纳米薄膜 脉冲激光烧蚀 表面粗糙度 physics of thin film nanocrystalline silicon film pulsed laser ablation surface roughness
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