作者单位
摘要
同济大学 精密光学工程技术研究所,上海 200092
依据材料的质量吸收系数和波长的关系,选择Cr和Al 设计和制备30.4 nm自支撑滤光片。在制备时以NaCl为脱膜剂,以热蒸发方式蒸镀Al,以电子束蒸发方式蒸镀Cr,制备了30.4 nm的Cr/Al/Cr自支撑滤光膜,并对滤光片的表面缺陷进行了分析。通过显微镜观察,滤光膜均匀纯净,无明显针孔。Cr/Al/Cr自支撑滤光片在合肥国家同步辐射实验室进行了测量,Cr/Al/Cr厚度为5 nm/500 nm/5 nm和12.5 nm/500 nm/12.5 nm的滤光片在30.4 nm波长处的透过率分别为7.6%和4.6%,透过率曲线和理论计算基本一致。用紫外分光光度计测量得滤光片在200~800 nm波长范围的透过率小于0.02%,满足使用要求。
滤光膜 质量吸收系数 自支撑 透过率 缺陷 mass absorption coefficient self-supporting transmittance defect 
强激光与粒子束
2009, 21(2): 235
作者单位
摘要
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海 200092
在传统遗传算法(GA)基础上,通过引入标准偏差函数构造了新的适应度函数,同时提出了一种自动降温的方法来控制退火选择策略中的温度。将这种改进的实数编码遗传算法(FGA)和单纯型算法(SA)有机结合起来,形成了新的膜系优化算法-实数编码遗传和单纯形混合算法,并编制了优化程序。实例表明该算法优化性能优越,既具有强大全局搜索能力,又能很好地实现局部搜索功能。用该算法实现了中心波长534 nm,带宽35 nm的可见光波段凹陷滤波器和高性能中性分束镜。
薄膜光学 膜系优化 遗传算法 单纯型算法 凹陷滤波器 中性分束镜 thin film optics optimization of film design genetic algorithm simplex algorithm notch filter neutral beam splitter mirror 
量子电子学报
2008, 25(1): 0049
作者单位
摘要
1 同济大学精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 合肥国家同步辐射实验室, 合肥 230029
采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6 nm 的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7 nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217 nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比较精确。在此基础上制备了121.6 nm的窄带滤光片,到合肥同步辐射实验室测量的结果是中心波长在120.74 nm,峰值透射率为5.94%,通带半宽度为12 nm。可以看出实际制备的滤光片和预先设计的基本吻合但还是有一定的偏差,最后对实际测量的和理论设计的偏差进行了分析。
薄膜光学 窄带滤光片 峰值透射率 通带半宽度 制备 
光学学报
2008, 28(12): 2427
作者单位
摘要
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2 多层滤光膜,并在100,150,200,300 ℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响.结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大.随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300 ℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱.而150,200 ℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性.
多层膜 热处理 环境稳定性 峰值透射率 
强激光与粒子束
2008, 20(2): 219
作者单位
摘要
同济大学,精密光学工程技术研究所, 上海 200092
窄带高反射滤光膜在光通讯、光学探测仪器等领域有着重要应用。探讨了“基片H(LH)m1αL(HL)m2βCrM空气”膜系结构的窄带高反射滤光膜系,讨论了金属Cr层厚度,以及两种不同的匹配膜系对滤光膜特性的影响,计算了Cr层内部的电场分布。结果表明,较厚的金属层可实现更宽的截止带宽,匹配层的加入有效地实现了宽截止带的深截止,使中心波长处导纳为较大值的匹配膜系可以更好地实现滤光膜宽截止、窄带高反射特性;匹配膜层使中心波长处Cr层内部的电场强度趋于零,有效地降低了整个膜系的吸收,提高了反射率。
薄膜光学 窄带反射滤光膜 非对称法布里-珀罗结构 导纳 匹配膜系 超薄金属 
光学学报
2008, 28(5): 1001
作者单位
摘要
1 同济大学精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
介绍了卡塞格林系统的焦距为6000 mm, 系统的相对口径为1/10,主镜的口径为600 mm,主镜相对口径为1/1.2,主镜的材料是微晶玻璃,背面打有盲孔,质量为原来的50%。由于主镜的相对口径比较大,而且经过轻量化,因此加工难度比较大,在加工过程中在传统方法的基础上对工艺加以改进,采用三点扩九点的支撑方法和四点夹持的方法,最终将主镜加工到了很高的精度。主次镜组合系统的弥散圆直径小于0.02 mm ,用干涉仪检验卡塞格林系统主镜的峰值(PV)为1.23λ,均方根(RMS)为0.18λ。
光学设计 卡塞格林系统 主镜 大相对口径 轻量化 
光学学报
2008, 28(4): 764
作者单位
摘要
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
利用直流磁控溅射方法和提拉法制备了自支撑Zr/ C8H8复合滤光膜和C8H8滤光膜.用同步辐射光源测量了滤光膜对软X射线的透射率,用俄歇电子能谱分析了膜中的元素含量.结果表明,虽然C8H8薄膜的加入在一定程度上降低了Zr滤光膜在软X射线波段的透射率,但较好地阻止了存储和使用过程中氧、氮等杂质对Zr金属膜的入侵,有效地改善了滤光膜的环境稳定性;同时很好地改善了Zr滤光膜的力学性能和表面面形,使制备的成品率提高了20%.
聚苯乙烯 滤光膜 X射线激光 透射率 
强激光与粒子束
2007, 19(11): 1837
作者单位
摘要
1 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
2 中科院上海技术物理研究所,上海,200083
为了方便透镜补偿器的设计,从三级像差理论出发,推导出了求解透镜补偿检验二次曲面的初始结构参量之间关系的数学表达式.通过分析发现这些公式不仅包括了前人提出的补偿检验二次曲面的方法,也包括了以前没有提出过的方法.这些透镜补偿器既可以检验二次曲面,又可以检验高次曲面.用所提出的方法设计了一套补偿器,结果显示,当轴上波差1/108个波长,轴外波差1/13个波长时,该补偿器完全能够应用于实际中.
三级像差理论 补偿检验 二次曲面 
光子学报
2007, 36(11): 2057
作者单位
摘要
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
利用真空热蒸发的方法制备了厚度为0.28~0.40 μm的硬脂酸钠薄膜,并用光学显微镜和傅里叶红外光谱仪对硬脂酸钠薄膜进行了观察和分析,发现硬脂酸钠薄膜的红外光谱和固体的光谱具有相似性.在空气环境中硬脂酸钠薄膜不易潮解,在选择的无水脱膜溶液中,容易脱出无明显针孔的自支撑Al膜.用俄歇电子能谱测试,未发现脱出的Al膜上有残留的硬脂酸钠脱膜剂.
硬脂酸钠 脱膜剂 真空热蒸发 薄膜制备 傅里叶红外光谱 
强激光与粒子束
2007, 19(3): 421
作者单位
摘要
同济大学非球面光学实验室,上海 200433
对于二次曲面加工,都是在二次曲面的消像差点放置刀口仪进行阴影检验或与干涉仪对接进行干涉检验,这说明求解二次曲面的消像差点对于二次曲面的检验和检验方案的制定是非常重要的。利用三级像差理论和近轴公式,对二次曲面的两个消像差共轭点的求解方法进行了详细地研究,给出求解二次曲面的消像差点的各种公式、曲线图、光路图和表格,从中可以看出,这对检验二次曲面是非常有益的。
几何光学 二次曲面 刀口检验 像差理论 共轭点 geomefric optics conicoid knife-edge testing aberration theory conjugate points 
量子电子学报
2006, 23(4): 0471

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